Scopo del progetto è la realizzazione di prototipi del Modello Esagonale (ME) in silicio della CryoAC di ATHENA, nelle sue due configurazioni: ME-s a 4pixel e ME-m monolitico.

Presso il centro INPHOTEC della Scuola Sant’Anna verranno affinati i processi di Deep Reactive Ion Etching (DRIE), in particolare riguardo agli step di “landing” e di etching profondo. Lo sviluppo richiede anche la progettazione e la produzione di una maschera ottica acquistata dalla Scuola, che ne realizzerà le litografie e che verrà realizzata in collaborazione con Dipartimento di Fisica dell’Università di Genova.

Contemporaneamente verranno progettati e sviluppati processi di assemblaggio, in particolare relativamente al fissaggio del Modello Esagonale nella struttura di back-end in rame dorato ME-be, con resina Stycast e bonding funzionali con filo d’alluminio e filo d’oro.